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日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701AT 排氣→涂層（蝕刻）→全自動，直到進入大氣 盡管是緊湊型，但仍可以進行膜厚控制（簡單型） 全自動濺射設(shè)備，操作簡便，重現(xiàn)性高